我院获批省级工程技术研究中心-银河平台
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我院获批省级工程技术研究中心
2019-01-07 17:36 张媛  审核人:

近日,山东省科学技术厅发布2018年度新增山东省工程技术研究中心名单,我院牵头联合多家企业单位申报的山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心获得批准,本年度山东大学共获批5项。

山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心依托国家示范性银河平台校企联合组建。中心研究领域:(1)芯片集成与智能新硬件应用;(2)太赫兹与宽禁带半导体器件;(3)新一代光电器件及应用集成。中心立足我省新一代信息技术产业优势和基础,以重大关键共性技术的自主创新为先导,面向国家和山东省新一代信息技术集成电路芯片及智能硬件、太赫兹与宽禁带半导体器件、新一代光电器件及应用集成研究领域,全面落实省委、省政府实施新旧动能转换重大工程的决策部署,突破先进制造与高端装备微电子与微纳加工技术、精密微纳系统技术高性能测量技术等,形成高层次创新创业团队,促进物联网、大数据、人工智能等领域的融合创新,不断催生新业态,培育新动能,发挥高端前沿技术引领作用,整体提升产业技术水平和核心竞争力,加快创新型省份建设,为实现全省经济高质量发展提供有力支撑,引领山东省芯片和集成电路行业进步和发展实现山东大学、山东省和我国微电子和集成电路产业跨越式发展。

中心团队成员现有国家千人计划2名、长江学者1人、杰出青年基金1人、教育部新世纪优秀人才1人、泰山学者/泰山产业领军人才2名、济南市5150人才2名、山东大学未来学者1名。中心既拥有在Nature Communications 上发表高水平论文的世界级科研科能力,也具备美国硅谷芯片设计多年工程经验,是一个理论水平高超、工程经验丰富的团队。建有目前世界加工精度一流的7nm加工平台,柔性薄膜器件及集成的整套设备,和国内领先的750GHz太赫兹微波测试平台,完备的导体、半导体及绝缘体材料生长系统、材料与器件分析测试平台,拥有可多点接入的开放式EDA服务器,预装了Synopsys、Cadence、Mentor Graphics等集成电路主流设计软件,研究能力已经全面接轨国际领先水平

中心已经获得的数个重大突破,在柔性高频电子与可柔性低功耗CMOS集成芯片领域达到了国际领先水平基于新型柔性透明氧化物半导体材料,2015年在柔性透明塑料衬底上实现了当前世界上速度最快的6.3 GHz柔性二极管,至今仍保持着世界上速度最快的柔性二极管的最高纪录 (Nature Communications, Vol.6, 7561, 2015)。2018年基于非晶氧化物半导体研制成了截止频率超过1GHz的薄膜晶体管,向柔性电视与高性能可穿戴电子迈进了一大步。2018年,解决了氧化物半导体领域世界难题“高性能p型氧化物匮乏”,研制成高性能p型SnO的基础上,实现了n型、p型氧化物半导体的互补集成,成功实现了低功耗CMOS电路包括反相器、各种逻辑门、环形振荡器、d-latch、1bit全加器等电子芯片研制,并实现了目前国际上集成度最高的100个薄膜晶体管的集成。新一代高性能室温红外探测器研究中材料生长及单一器件制备及表征已经处于国际领先地位。在模拟与射频集成电路设计、大规模数字集成电路设计领域成功研制了北斗二代/GPS射频芯片、高性能LED显示驱动控制芯片、AVS编解码芯片、人工电子耳蜗等,取得了良好的经济效益和社会效益。

原子层淀积系统(ALD)

高频微波测试系统

典型论文

自主北斗芯片

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